深圳华益兄弟科技推出TUW‑HT110全氟聚醚,开启半导体制造国产替代新篇章
2026-04-13
一、前言：华益兄弟推出PFPE新产品加速国产替代
在全球半导体行业竞争加剧的背景下，高端电子氟化液的国产替代成为保障产业链安全的关键。今天，深圳华益兄弟科技有限公司（“华益兄弟”）正式推出自主研发的TUW-HT110全氟聚醚（PFPE）导热液。该产品与国际领先品牌Solvay Galden HT 110进行定位，各项关键指标性能相当，为半导体制造、电子设备冷却、精密仪器温控等领域提供可靠的国产解决方案。
TUW-HT110的上市，标志着华益兄弟在电子氟化液领域的技术突破，有效缓解了国内企业高端PFPE材料的供应压力，支撑了中国半导体产业的高质量发展。
二.行业背景：全氟聚醚——半导体制造不可或缺的“温控基石”
全氟聚醚 (PFPE) 是一种高性能合成含氟聚合物流体。其独特的分子结构——全氟烷氧基链——具有卓越的化学惰性、热稳定性和优异的介电性能。在半导体制造这个精密制造皇冠上的宝石中，PFPE导热液发挥着不可替代的作用。
2.1 半导体制造的核心挑战
现代半导体制造工艺对温度控制精度提出了极其严格的要求。例如，在晶圆蚀刻中，超过 0.1°C 的温度波动可能会导致晶圆报废。在光刻、离子注入、化学气相沉积（CVD）等核心工艺中，PFPE导热液作为理想的传热介质，将温控精度保持在±0.1℃以内，确保纳米级制造的稳定性和良率。
2.2 PFPE不可替代的优势
与传统冷却介质相比，PFPE具有明显的优势：
表格
| 特性 | PFPE导热液 | 传统冷却液 |
|---|---|---|
| 介电性能 | 优异的电绝缘性（介电强度>30 kV） | 导电，存在短路风险 |
| 化学惰性 | 出色的耐酸、碱和各种化学品性能 | 需要缓蚀剂，长期使用容易降解 |
| 温度范围 | 宽工作范围（−100°C 至 290°C） | 有限的温度适用性 |
| 安全 | 不易燃、无毒、无闪点 | 某些产品存在火灾和爆炸危险 |
| 材料兼容性 | 与金属、塑料和弹性体具有出色的相容性 | 可能腐蚀敏感材料 |
2.3 市场供需格局
长期以来，高端PFPE市场被欧美企业垄断。以索尔维为代表的国际巨头凭借技术优势和品牌影响力主导了全球半导体级PFPE导热液市场。近年来，随着国际贸易形势的变化和供应链安全意识的增强，终端用户对国内替代产品的需求越来越大。
三．技术优势：TUW‑HT110 与 Solvay Galden HT 110
3.1 性能对等实现无缝替代
华益兄弟研发团队瞄准国际领先标准，经过深入研究和技术突破，成功研发出TUW-HT110，其性能参数与Galden HT 110高度一致。客户可以将TUW-HT110直接应用到现有设备上，无需工艺调整，有效降低切换成本。
3.2 安全供应链、稳定交付
华益兄弟依托中国完整的氟化工产业链，建立了稳定可靠的原材料供应体系。与面临交货期延长、物流中断等潜在风险的进口产品不同，TUW‑HT110提供更短的交货周期和更灵活的定制服务。
3.3 本地化服务，快速响应
华益兄弟拥有一支经验丰富的技术服务团队，提供从产品选型、工艺优化到售后协助的全流程专业支持。本地化团队确保快速响应和高质量服务。
3.4 成本优化，性价比突出
在保持同等性能的同时，TUW‑HT110通过优化的供应链管理和规模化生产，提供更具竞争力的价格，有效降低用户的运营成本。
四．应用场景：涵盖半导体、高端制造等多样化需求
TUW‑HT110全氟聚醚导热液凭借其优异的性能，广泛应用于以下领域：
4.1、半导体制造
- 蚀刻设备冷却：在等离子蚀刻机中用作冷却介质，保证蚀刻过程中的温度稳定性
- 离子注入机温度控制：为离子注入设备提供精确的温度调节
- 晶圆测试：在晶圆级测试期间提供统一的热管理
- CVD室清洗：协助高温清洗工艺，保持设备清洁度
4.2 电子设备冷却
- 数据中心液体冷却：用作浸入式液体冷却系统中的冷却剂，用于人工智能服务器和超级计算机的高功率散热
- 电力变压器冷却：确保变压器长期稳定运行，具有优良的电气绝缘和安全特性
- 精密电子设备温度控制：为雷达系统、医疗成像设备等高端设备提供可靠的热解决方案
4.3 真空设备
- 真空泵润滑：在离子刻蚀、LPCVD等半导体工艺中用作真空泵的工作液
- 气相焊接：通过气相焊接 (VPS) 工艺中的冷凝潜热提供加热
4.4 其他工业应用
- 航空航天：用作航空发动机等关键部件的高温润滑剂和冷却剂
- 化学和制药工业：在化学反应和药品制造中用作惰性溶剂或冷却剂
五、结论
TUW-HT110全氟聚醚导热液的推出，是华益兄弟在电子氟化液国产替代之路上的一个重要里程碑。在全球产业格局深刻变化的背景下，华益兄弟将继续深耕特种化学品领域，以更多优质产品支撑中国半导体及高端制造业高质量发展。
深圳华益兄弟科技推出半导体制造用TUW-3284电子氟化液——国产替代3M FC-3284,助力半导体企业降本增效
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