耐极端工况的真空润滑选择 —— Fomblin® PFPE 全氟聚醚润滑剂具备化学惰性与高温稳定性的特点
2026-05-25
在高、超高真空以及腐蚀性气体环境中，润滑油的选择直接决定设备运行的稳定性、清洁度和使用寿命。为了应对这一工业挑战，Syensqo推出的Fomblin® PFPE全氟聚醚润滑剂具有出色的化学惰性、卓越的热稳定性和极低的蒸气压，是半导体、科研仪器和粒子加速器等高端真空设备的理想润滑解决方案。
化学惰性，可耐受严酷介质
Fomblin® PFPE 仅由碳、氟和氧原子组成，几乎不与任何化学物质发生反应。可直接暴露于UF₆、F2、BF₃、PCl₃等高腐蚀性和反应性气体中而不会降解或聚合。它还与金属、塑料和弹性体具有出色的相容性，消除了润滑剂分解造成真空系统污染的风险。
高热稳定性确保长期可靠运行
Fomblin® PFPE 具有卓越的热稳定性和氧化稳定性，可在高达 280°C 的持续温度下稳定运行。作为一种无闪点、无燃点的非易燃液体，即使在高热下反复暴露于空气中也不会产生有害沉积物或焦化，大大减少了真空泵的维护频率。当扩散泵油温低于 280°C 时，流体保持稳定而不分解。 290℃以上偶发部分分解时，可采用氧化钙吸收管，以增强安全性。
超低蒸气压实现终极真空
Fomblin® PFPE 产品具有极低的蒸气压。例如，Y HVAC 140/13 在 25°C 时记录的蒸气压为 10⁻⁷ 托水平。这一特性有效地限制了扩散泵中的油回流，最大限度地减少了真空室污染并实现了较低的极限压力。具有出色的耐辐射性，适用于暴露于电离辐射的设施，例如粒子加速器和等离子体设备。
多样化牌号覆盖全系列真空泵应用
Syensqo 为各种真空泵类型提供定制产品：
- Y LVAC系列（06/6、14/6、16/6、25/6）：旋转泵、涡轮分子泵、罗茨泵的密封和润滑。
- Y LVAC RP系列（防锈抗磨改性）：在潮湿条件下或重水汽抽吸下防止金属腐蚀，抗磨性能经四球磨损测试验证。
- Y HVAC系列（140/13）：专用于扩散泵，分子量分布窄，回流极小，非常适合SEM、TEM、质谱仪和离子注入设备等超高真空场景。
应用案例及更换指南
Fomblin® PFPE广泛应用于半导体镀膜、平板显示、真空冶金、核工业和实验室分析仪器等领域。当用 Fomblin® PFPE 更换矿物油或合成烃油时，请彻底清洁真空泵系统。使用 Galden® SV55 溶剂进行三个清洁周期，然后干燥，以防止残留溶剂损害真空性能。
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