3M Novec 7300 电子氟化液是一款中沸点氢氟醚(HFE)类电子级工程流体,化学名为十氟-3-甲氧基-2-三氟甲基戊烷,CAS号132182-92-4,广泛用于半导体设备冷却、电子测试、精密清洗与润滑剂沉积领域。
3M Novec 7300 电子氟化液常压沸点98°C,25°C密度1.66g/cm³,凝固点低至-38°C,液态温度范围宽广,是半导体设备中温区冷却的理想选择。
3M Novec 7300 电子氟化液介电常数为6.1、介电强度约25kV,具备优异的电气绝缘性能,可直接接触带电电子部件,适用于离子注入机、干法蚀刻机、CVD设备等半导体制程装备的精密控温与冷却。
在环保与安全方面,3M Novec 7300 电子氟化液臭氧消耗潜能值(ODP)为零,温室效应潜能值约200,无闪点、不可燃、低毒性,热稳定性和化学惰性优异,与不锈钢、镍、铜、铝及多种工程塑料、弹性体均有良好材料兼容性。
3M Novec 7300 电子氟化液主要应用于:半导体制程设备冷却与热传导,电子元器件绝缘测试,热冲击与可靠性测试,精密零件清洗与气相脱脂,以及氟化润滑剂沉积载体等场景。