TUW-3283 电子氟化液

TUW-3283 电子氟化液是全氟化合物（PFC）体系的电子级氟化液，沸点 128 ℃，密度 1.83 g/mL，介电常数仅 1.96，介电强度 44 kV，体积电阻率 1.36×10¹⁴ Ω·cm。低介电常数意味着它在电场中几乎不极化、介电损耗小，是高电压、高频场景下最稳妥的绝缘冷却介质之一。
全氟液体不含氢、不易燃、化学惰性极强，与氧气、强酸、强碱都不反应，长期使用不生成酸性分解物。TUW-3283 电子氟化液正是按这一体系生产，用于半导体蚀刻机、离子注入机的恒温冷却，以及高压变压器、射频电源的绝缘散热。它是 3M Fluorinert FC-3283 的替代型号，物性与接口参数对齐，可直接替换。

· 沸点：128 ℃
· 倾点：−65 ℃
· 密度（25 ℃）：1.83 g/mL
· 运动黏度（25 ℃）：1.32 cSt
· 表面张力：12.7 mN/m
· 介电常数（1 kHz）：1.96
· 介电强度：44 kV
· 体积电阻率（25 ℃）：1.36×10¹⁴ Ω·cm
· 比热：1.431 J/(g·℃)
· 导热系数：0.0834 W/(m·K)
· 蒸气压（25 ℃）：14.6 kPa
· ODP / GWP：0 / 118
· 平均分子量：500
· CAS：86508-42-1

1. 半导体设备冷却：蚀刻机、离子注入机、CVD/PVD 腔体、光刻机的恒温与绝缘冷却。
2. 高电压电气绝缘：高压变压器、射频电源、脉冲功率设备的绝缘与散热，替代 SF6 的部分场合。
3. 电子测试：功率器件、IGBT 模块的绝缘测试与老化试验介质，冷热冲击的传热流体。
4. 精密清洗：对颗粒、离子残留要求极高的晶圆载具、光学件与真空部件的最终清洗。

TUW-3283 电子氟化液化学惰性极强，与金属、陶瓷、玻璃和绝大多数塑料相容，几乎不溶胀弹性体；但由于密度高达 1.83 g/mL，是水的近两倍，开放式槽体设计需考虑液位与泵送扬程，泄漏后液体沉在低处，清理时注意防滑与回收。
产品不燃、无闪点，常压沸点 128 ℃，常温蒸气压 14.6 kPa，挥发损失小于低沸点型号。PFC 的 GWP 为 118，虽远低于早期 PFC，仍应按当地法规管理排放，优先闭式循环与蒸馏回收；废液交有资质单位处置，不得排入环境。

常规包装 25 kg 塑桶、250 kg 铁桶，可按需提供 5 L、20 L 包装；华南仓常备现货，随货提供 TDS、SDS、COA 与批次物性检测数据。