CAS 69991-67-9

姓名：全氟聚醚（PFPE）
CAS 编号：69991-67-9
分子式：[CF(CF₃)CF2O]ₓ (CF2O)ᵧ（聚合物）
分子量：变量（聚合物）
物理形态：透明、无色液体
应用：

• 真空泵油

• 电子产品中的介电液/绝缘液

• 高性能润滑剂

• 用于 PVD ​​/ CVD 和离子注入工具的流体